ABSTRACT
David W. Gotthold 14 .1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 365
14 .2 Thermal Evaporation Advantages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 366 14 .2 .1 Thermal Evaporation Challenges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .367
14 .3 Research Scale Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .369
14 .4 Production Scale Deposition Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 370 14 .4 .1 Organic Vapor Phase Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 372
14 .5 Evaporation Source Technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 372 14 .5 .1 Point Sources . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 373 14 .5 .2 Linear Boat Sources . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .374 14 .5 .3 Next Generation Sources . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .374
14 .6 Process Control and Feedback . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 375 14 .6 .1 Flux Monitoring . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .376 14 .6 .2 Optical Film Measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 377
14 .7 Patterning . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 378 14 .7 .1 Fine Metal Mask . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 379 14 .7 .2 White OLED Plus Color Filter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 381 14 .7 .3 Laser-Induced Direct Imaging . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 381
14 .8 Conclusion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 382
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 382
